가스정제기

Catalyst Adsorption Type (NPH Series)

NPH Series는 가스 중에 포함되어 있는 불순물을 제거해주는 정제장치입니다.
반도체 제조 공정에서 가스 불순물의 영향은 치명적이며, 256MB이상으로 고집적화 되고 있는
반도체 제작을 위해서는 초고순(99.999999%)의 가스 사용이 요구됩니다.

적용가능가스 : O2, N2, Rare Gas (Ar, He)
제거 가능 불순물 : H2O, O2, CO, CO2, CH4, H2
특징 :
•대용량 정제
•운전비용이 저렴하고 반영구적으로 사용(정제와 재생을 반복)

정제장치(Gas Purifier)의 원리

흡착제의 H2O 및 CO2의 흡착/탈착 Mechanismv

Heating 효과 - 탈착시 구멍을 넓히고 분자 운동을 강하게 증가시킨다.

제품소개

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